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OAK-SAM001超声波扫描显微镜主要利用高频的超声波(1MHZ以上)检测器件、材料内部的缺陷位置、大小和分布状态，对粘结层面非常敏感，能检测出气孔、裂纹、夹杂和分层等缺陷，是以波形、图形为显示方式的一种无损检测工具，可以保留在破坏性检测中被丢失的细微缺陷，样品通过检测后可以继续使用。主要应用于失效分析、可靠性分析、制程控制、质量控制、产品研发，工艺提升等。
PRODUCT FEATURE
APPLICATION SCENARIO
微电子学领域:
在塑封微电路板、贴片式陶瓷电容、芯片粘贴层、晶片尺寸级封装、倒装芯片、叠型晶片与3D集成、锡球阵列、卷带自动结合、混合封装、柔性电路、印制电路板、智能卡、热电冷却器、功率模块等的制造与检测中，可检测封装内部的缺陷，保证电子器件的可靠性和性能。
微机电系统（MEMS）:
微机电、粘结晶圆、制造工艺评估、零级封装、空腔密封分析、封装、传感器、集成微电子机械系统、微光机电系统、实验室芯片、生物芯片、微阵列芯等。
材料:
复合材料、玻璃纤维、高分子材料、石墨纤维与树脂、金属模板、合成物等的内部缺陷，如分层、裂纹、空洞等，确保材料质量与性能。
军事、航空及汽车领域:
高可靠性资格筛选、产品升级筛选、资格筛选、包装/密封、微射流技术、聚乙烯/箔袋、焊件、包装密封、无铅化器件、伪造设备。
其他:
芯片实验室、生物芯片、微阵列芯片、过滤、医疗、食品、医疗、药品、其他密封应用、X射线靶、多层陶瓷、LED模块、驱动。
TECHNICAL PARAMETERS
| 整机尺寸 | 1100*1000*1500mm |
|---|---|
| 水槽尺寸 | 900*600*200mm |
| 有效扫描范围 | 400*400mm |
| 最大扫描速度 | 2000mm/s |
| 图像最大像素 | 43000*43000像素 |
| 最高扫描精度 | 0.1 μm/像素 |
| 采样频率 | 2G Sample/sec |
| 扫描轴定位精度 | XY≤±1μm |
| 扫描轴重复精度 | XY≤±0.5μm |
| 超声收发器带宽 | 1 - 300MHZ |
| 超声换能器适配范围 | 1 - 230MHZ |
CASE PRESENTATION
